曾任中国科学院微电子所二级研究员，博士生导师，北京大学客座教授；国家自然基金委信息学部专家组副组长，国家重大仪器专项专家组副组长。主持完成国家重大专项、基金委重大科学仪器等项目。成功开发曝光机、刻蚀机、等离子体注入机、磁控溅射、原子层沉积、原子层刻蚀等集成电路装备，国内外应用超千台。
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